知道什么是MEMS吗？MEMS就是(Micro-Electro-MechanicalSystems)是微型电机系统的缩写。它经过了什么样发展历程呢？下面一起来看看吧。
MEMS第一轮商业化：浪潮始于20世纪70年代末80年代初，当时用大型蚀刻硅片结构和背蚀刻膜片制作压力传感器。
由于薄硅片振动膜在压力下变形，会影响其表面的压敏电阻走线，这种变化可以把压力转换成电信号。
后来的电路则包括电容感应移动质量加速计，用于触发汽车安全气囊和定位陀螺仪。
MEMS第二轮商业化：出现于20世纪90年代，主要围绕着PC和信息技术的兴起。
根据静电驱动斜微镜阵列推出了投影仪，而热式喷墨打印头现在仍然大行其道。
MEMS第三轮商业化：微光学器件通过全光开关及相关器件而成为光纤通讯的补充。
尽管该市场现在萧条，但微光学器件从长期看来将是MEMS一个增长强劲的领域。
目前MEMS产业呈现的新趋势是产品应用的扩展，其开始向工业、医疗、测试仪器等新领域扩张。
推动MEMS第四轮商业化的其它应用包括一些面向射频无源元件、在硅片上制作的音频、生物和神经元探针。生化药品开发系统和微型药品输送系统的静态和移动器件。